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  传送带 。 7. 假如有设置好的升温程序，次序装入，使炉子逐渐升温到进程温度。

  假如没有，则手动设置，每200度为一阶，逐渐升温到进程温度。第 一次装入后，需点击加热收音开关，开端加热 。 8. 依据工艺技术要求调整工艺参数，只需调整各温区温度和带速设定值。当 进程值到达设定值后，机便处于安排妥当状况。

  温度独自可调、加热元件为电热丝，加热温度可设置到500摄氏度，但进程温度不该超越300摄氏度。

  第一次装入热后，管需点功击加率热收为音开1关6，0开0始W加，热 。5、6区加热管功率为2700W，每个温区温

  烧结炉用于度烘干单硅片独上的可浆料调、去，除浆1料~中4的温有质区成分温、完度成铝可背场设及栅置线温区可

  烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除 浆猜中的有质成分、完结铝背场及栅线烧 结。硅片在炉中，上、下双面能一起烧结， 烧结进程如下：

  ➢对第三道丝印后硅片外表浆料进行烘干 ➢去除浆猜中的有质粘结剂 ➢铝背场及栅线烧结

  6 为主烧结区，加热元件为近红外线区加 烘干区包含四个加热区：ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE4，其间ZONE 4 为对流加热区，坐落其它三个温区上部，每个加热区

  烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个阻隔炉膛， 经过风帘阻隔，阻隔炉膛避免相邻区域中的进程气体彼此混合。

  除了上述三个首要部格外，在炉体头部有上料区，在尾 部有下料区，外加一个独自的冷凝器，冷凝前言为冷却水。

  ➢ 关机进程则与开机进程相反，需注意：当炉温降到100度左右时，方可Hale Waihona Puke Baidu将传送带停下。

  设置到摄氏1050度。 慢速敞开紧缩空气主阀，炉子供给进程气体，一起给各气缸供给紧缩空 。

  一般各管道给水阀和流量已设定好，勿需调理。 烧结区包含六个加热区：ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE4 、ZONE 5、ZONE 6，ZONE 1~4 为预烧结区，ZONE 5 和 ZONE 6 为主烧结区，加热元件为近红外线W，每个温区温度独自可调， 1~4温区温度可设置到700摄氏度，5、6温区可设置到摄氏1050度。 慢速敞开紧缩空气主阀，炉子供给进程气体，一起给各气缸供给紧缩空 。 发动PC，等候机器完结自检和监控程序装入。 当进程值到达设定值后，机便处于安排妥当状况。 对第三道丝印后硅片外表浆料进行烘干 第一次装入后，需点击加热收音开关，开端加热 。 烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆猜中的有质成分、完结铝背场及栅线烧结。

  烘干区包含四个加热区：ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE4， 其间ZONE 4 为对流加热区，坐落其它三个温区上部，每个加 热区温度独自可调、加热元件为电热丝，加热温度可设置到 500摄氏度，但进程温度不该超越300摄氏度。

  1. 慢速敞开冷却水主给水阀，给烧结炉供水。一般各管道给水阀和流量 已设定好，勿需调理。

  2. 慢速敞开紧缩空气主阀，炉子供给进程气体，一起给各气缸供给紧缩 空 。一般各管道流量已设定好，勿需调理。

  3. 将主电源开关拨到“1”，敞开主电源。 4. 发动PC，等候机器完结自检和监控程序装入。 5. 将“Drive On”拨到“1”，“Drive PC/Manual”拨到“0”，将