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  烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆猜中的有质成分、完结铝背场及栅线烧结。硅片在炉中,上、下双面能一起烧结,烧结进程如下:

  烘干区包含四个加热区:ZONE1、ZONE2、ZONE3、ZONE4,其间ZONE4为对流加热区,坐落其它三个温区上部,每个加热区温度独自可调、加热元件为电热丝,加热温度可设置到500摄氏度,但进程温度不该超越300摄氏度。

  烧结区包含六个加热区:ZONE1、ZONE2、ZONE3、ZONE4、ZONE5、ZONE6,ZONE1~4为预烧结区,ZONE5和ZONE6为主烧结区,加热元件为近红外线W,每个温区温度独自可调,1~4温区温度可设置到700摄氏度,5、6温区可设置到摄氏1050度。

  烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个阻隔炉膛,经过风帘阻隔,阻隔炉膛避免相邻区域中的进程气体彼此混合。

  除了上述三个首要部格外,在炉体头部有上料区,在尾部有下料区,外加一个独自的冷凝器,冷凝前言为冷却水。